致力成为靶材行业引领者

致力成为靶材行业引领者

——创新一线·东同光电用新材料开拓新兴市场

□本报记者 吴 温

何为“靶材”?简单地说，靶材就是目标材料。一块普通的玻璃材料，只要镀上相应的靶材，就能变成手机触摸屏、太阳能集热板或液晶显示器，起到增透减反等效果，产品价值随之提升数十倍。

“我们自主开发的氧化铌陶瓷靶材技术成功投产，产品已被华为等知名品牌公司用于手机触摸屏中。”在循环化工园区，河北东同光电科技有限公司的生产车间正一片忙碌，公司总经理康明生颇为自豪地对记者说，眼下，企业产能满负荷运转，经济效益良好。

记者了解到，靶材应用广泛，比如光伏电池、平板显示器、大规模集成电路、微电子器件及装饰涂层等产业，都离不开它，市场前景十分看好。然而，它对尺寸、平整度、纯度要求极高，要求产品密度大、组织均匀，具有较高的技术含量，很大程度上依靠进口。

这也正是东同光电的商机。

看到巨大的市场潜力和靶材行业的技术“短板”，2011年，东同光电将特种陶瓷靶材作为自己的突破口，一一攻克技术瓶颈，初步形成年产各类特种陶瓷靶材100吨的生产规模，产品畅销国内的同时，还出口到韩国、台湾等国家和地区。

在公司一间办公室，几个大大小小的长方形、环形散发着金属色泽的产品，吸引了记者的目光。“这些就是我们生产的靶材，每公斤售价为一千元至三千元。”康明生介绍说，去年4月23日，公司烧结氧化铌管靶实验成功，靶材各项性能均优于喷涂靶材，并进入量产阶段。数月前，他们又相继推出硅铝、硅镍、镍铬、碳化钨、硫化钨等五种合金和化合物靶材，部分合金靶材传统生产工艺以熔炼和浇铸为主，采用烧结工艺制备合金靶材，为合金靶材生产另辟蹊径，靶材均一性均优于传统工艺。

走进生产车间，工人们正在真空热压炉前有序作业。在这里，原料粉体经活化、烧结、高温高压等一系列核心工艺处理之后，变身成高硬度的陶瓷靶材。而原本不导电的陶瓷毛坯，经过这一“打磨”也具备了良好的导电性能，成为薄膜太阳能、平面显示设备的重要材料。

和一般的长方形靶材不同，东同光电的很多靶材都是环形的——这种名为“旋转靶”的靶材，因为实现了旋转溅射，利用率超过了80%，而长方形靶材的利用率不过百分之二三十。“陶瓷靶材有上千种，但能做成这种旋转靶的，我们是独一份儿。”公司生产技术负责人崔娜说，自豪之情溢于言表。

记者了解到，目前，东同光电在研发靶材产品中所掌握的高性能氧化铌靶材等制备技术，已获2项发明专利，高性能旋转靶的开发研制等获河北省科技成果证书，技术国内领先。

康明生表示，接下来他们还将继续加大研发力度，进一步掌握高端靶材制备的关键技术，并致力于成为相关靶材行业的引领者。